受託サービス
受託観察・処理サービス
確かな技術と迅速な対応で
高品質な製品開発を支援します。
電子デバイス業界で化学薬品メーカーとして
機能性薬品の開発・評価を行ってきた知見をもとに、
お客さまのニーズにあわせて半導体基板、液晶基板、
電子デバイス基板といったさまざまな基板の画像観察や
薬液処理（※）の業務をサポートし、お客さまの開発評価
プロセスの効率化を支援し、より高品質な製品開発に貢献します。
こんなことでお困りの方に！
受託観察・処理サービスは、画像観察がメインのサービスとなりますが、薬液処理（Dip、Spray）にも柔軟に対応します。
サービス内容
- 画像観察
- 当社が保有する超高分解能の装置を用いて、高精細なSEM写真をご提供します。また、状況に合わせてSEMの前段階としてFIB装置を用いることで、断面出しが難しいサンプルや細かい場所を微細加工し、詳細かつ正確に観察することも可能です。お客さまのサンプルをお預かりし、画像観察することで業務をサポートします。
- 薬液処理
- 画像観察を行うためには、事前に薬液処理が必要です。お客さまが薬液処理を実施することが難しい場合などは、当社が薬液処理から画像観察まですべて請け負います。もちろんお客さま自身での薬液登録を行う必要もなく廃棄処理の手間も不要です。
林純薬工業の
受託観察・処理サービス
3つのポイント
ポイント01
専門性の高いサポート
化学薬品専門メーカーとして、エッチング液や剥離液など、さまざまな機能性薬品の開発・評価を手掛けてきた専門知識を活かし、最適な画像観察・薬液処理を行います。観察・処理において、FIB加工/画像観察のスペシャリストが担当し、質の高いサポートを提供します。
ポイント02
充実の
画像観察・処理設備
画像観察においては、超高分解能FE-SEM（インレンズ）による高精細なSEM写真をご提供。FIB装置も所有しているため、任意箇所の微細加工も行え、詳細な画像観察にも対応することができます。必要に応じて、Dip、Sprayのエッチングなどの薬液処理にも柔軟に対応します。
画像観察
表面/断面の超高分解能画像の
観察を提供できる
- 電子顕微鏡（SEM）
- 型式：日立ハイテク S-5500
倍率：60～200万倍
分解能：0.4nm/30Kv
サンプルサイズ：9.5×5.0×2.0mm
SEM観察の前処理・チャネリング
コントラスト画像の観察に使用する
- 集束イオンビーム（FIB）
- 型式：日立ハイテク MI4050
倍率：110～88万倍
分解能：4nm/30Kv
サンプルサイズ：50×50×12mm
外観観察や高焦点画像の観察
（貼り合わせ）ができる
- マイクロスコープ（MS）
- 型式：EVIDENT DSX-510
倍率：50～9000倍
サンプルサイズ：100×100×12mm
マイクロスコープで対応できないサイズのサンプルは、光学顕微鏡にて対応可能です。
記載の装置以外にも各種取り揃えています。
薬液処理
チップサイズ～8inchウエハまで対応可能
- 浸漬処理（Dip）
- 処理温度：0～90℃
処理方法：静止/攪拌/揺動/超音波/パドルなど
PTFE製チャンバーにより、酸性、アルカリ性薬液の処理が可能
- 枚葉処理（Spin/Spray）
- 構造：加圧圧送式（ワンパス）
ノズルタイプ：フルコーン/扇/ストレート
処理温度：RT～65℃
記載の装置以外にも各種取り揃えています。
クリーンルーム（Class1000/イエロールーム）での対応も可能です。
ポイント 03
画像観察から薬液処理まで
ワンストップで対応
製品評価では画像観察・廃棄処理・薬液登録を行う必要があり、時間や設備投資の費用がかかります。そこで、当社がサンプルをお預かりし、これらのプロセスをワンストップで対応することでお客さまの作業要員や時間などのリソースを有効活用することができます。また、当社製品ではない他社の薬液でも対応は可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
