W膜を良好にエッチングします。

キーワード：ウェットエッチング、タングステン

製品の特長

• 良好な順テーパーを形成します。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
• エッチング後の残渣がありません。