TiW膜を良好にエッチングします。 成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、
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キーワード：ウェットエッチング、チタンタングステン

製品の特長

• 良好な順テーパーを形成します。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
• エッチング後の残渣がありません。