Si膜を良好に等方性エッチングします。等方性エッチング液標準品のほか、
Si基板の薄化に最適な薄化用エッチング液もあります。

キーワード：ウェットエッチング、シリコン等方性エッチング、シリコン基板薄化

製品の特長

• 低温、短時間での処理が可能です。
• エッチング後の表面は鏡面です。