Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。
標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。

キーワード：ウェットエッチング、銅

製品の特長

• 良好な順テーパーを形成します。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。