Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、
Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。

キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜

製品の特長

• 良好な順テーパーを形成します。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。