Ag単膜、APC（Ag-Pd-Cu合金）などのAg合金膜単膜、
またはAg/透明導電膜の積層膜エッチングに最適なエッチング液です。

キーワード：ウェットエッチング、銀、APC

製品の特長

• エッチングレートが安定しています。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。